A系列全自動探針臺

產品概要

支持SiC、GaN、GaAs晶圓測試,大功率晶圓測試; 更換Chuck設計,可針對不同晶圓測試; 可與儀器儀表系統進行集成; 可升級高低溫環境測試。

基本信息

產品型號

A12

工作環境

開放式

電力需求

220VAC±10V/50Hz/2.2KW

操控方式

全自動

產品尺寸

1660 x 1770 x 1015 mm 

1660 x 1700 x 1455 mm

設備重量

1700kg

應用方向

晶圓測試、各類器件、Wafer等進行I-V、C-V、光信號、RF、1/f噪聲等特性分析、射頻測試等。

技術特點

  • 高測試精度與測試速度,大大提升產能效益
  • 全自動化系統運行,快速安全可靠測試
  • 支持單點測試和連續測試
  • 綜合控制系統,快速接入儀器測試
  • CHUCK高效測試系統,運行速度超300mm/s
  • 豐富的軟件自動化測試 ,機械精度精確校準
  • 可升級自動wafer厚度測量和ID讀卡
  • 內部防震系統裝置,運行更穩定
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