CG系列高低溫真空探針臺

產品概要

CG高低溫真空探針臺是SEMISHARE多年來技術積累的創新成果,同時SEMISHARE也是國內較早自主研發推出的高低溫真空探針臺,CG高低溫真空探針臺能夠實現樣品在真空高低溫環境下的精確電性、光強、波長、磁場等測試。2016年,SEMISHARE參與由哈工大和中國航天科技集團共建的“空間環境地面模擬裝置”部分技術設計項目,其在超低溫,超高真空,自動控制,激光模擬方面發揮著獨有的技術優勢。

基本信息

產品型號

SCG-O-4

工作環境

高低溫真空環境

電力需求

AC220V,50~60HZ

操控方式

手動探針臺

產品尺寸

1100*1100*530mm

設備重量

約190KG

應用方向

CG高低溫真空探針臺在高低溫真空環境下的芯片測試、LD/LED/PD測試、光纖光譜特性測試、材料/器件的I-V/C-V特性測試、霍爾測試、電磁輸運特性、高頻特性測試等。

技術特點

一、真空腔體

真空腔體采用外腔和屏蔽腔雙腔體結構,為樣品測試提供極限壓力為10-4Pa的真空環境。低溫測試時,避免空氣中的水蒸氣在樣品上凝結成露水,從而避免漏電過大或探針無法接觸電極而使測試失敗。同時,由于真空絕熱作用可是有效的提供制冷效率。高溫測試時,避免了空氣中的氧氣氧化樣品,從而避免樣品電性誤差、物理和機械上的形變。

二、探針臂XYZ調節機構

探針臂XYZ調節機構采用了自鎖絲杠和交叉滾子導軌的結構,實現了探針定位精確為10um,探針漂移量優于±60nm/30mins的高精度點針。同時,采用三軸管狀夾具和高屏蔽功能的三軸線纜,從而實現測試漏電精度達50FA。

三、探針熱沉設計,定位更精準

SEMISHARE直流探針臂均配有兩次熱沉設計,第一次探針臂熱沉在防輻射屏上、第二次探針通過陶瓷夾具熱沉在樣品臺上。SEMISHARE的熱沉設計能夠有效的降低探針臂與測試器件的溫差,提高了測試數據的精確性。

四、顯微鏡調節機構

顯微鏡調節機構通過調節支撐架的伸縮、高低以及顯微鏡自帶調節座,可觀測樣品任意區域。20倍目鏡和0.8倍-5倍的物鏡變焦倍率,從而實現樣品16X-100X的放大倍率。

五、制冷劑流量調節系統

制冷劑調節系統由杜瓦罐、壓縮氮氣壓力控制閥及精密調節的針閥組成??刂频蜏貢r,通過調節壓縮氮氣壓力控制閥來調節杜瓦罐中的壓力,從而控制制冷劑流出的壓力,繼而調節制冷劑的流量;通過調節精密針閥進而精密控制制冷的流量,最終實現精準的低溫控溫功能。

六、制冷劑同軸回路

制冷劑同軸回路使制冷劑從中間進入管路進入樣品臺,流經屏蔽腔底板腔室,在回流至同軸回路外層回流管中,最后通過排氣口排放到室外。制冷劑同軸回路使得制冷劑在排出的過程中加以利用,營造相對室溫低很多的環境,抑制了進入樣品臺的制冷劑的提前消耗,從而提高制冷劑的制冷效率,較少制冷劑的消耗。

七、防震平臺

防震系統采用進口韓國大一公司的空氣彈簧式支撐架的防震平臺。通過空氣彈簧的形狀、材質、彈簧室的容積及補助罐容積、阻尼孔徑和水平調節閥等一系列減震設計,實現該系統垂直本征頻率為1.5Hz,水平本征頻率為1.2Hz的低頻固有頻率,承重達400Kg的優異承載能力。從而有效避免細微低頻率頻帶的振動給測試帶來的不利影響。

型號 SCG-O-2 SCG-O-4 SCG-C-2
外形 900*900*530mm 1100*1100*530mm 1100*1100*1030mm
重量 約170KG 約190KG 約290KG
電力需求 AC220V,50~60HZ
樣品臺 尺寸 2英寸 4英寸 2英寸
樣品固定方式 真空導熱硅脂/彈簧壓片
樣品臺移動 固定的樣品臺
真空度 10^-10torr較高真空
光學特性 顯微鏡行程 2*2英寸 4*4英寸 2*2英寸
放大倍數 變焦:7:1分辨率4μm (放大倍數216X)或者選用金像顯微鏡(20X~1000X)
真空腔觀察窗尺寸 2inch 4inch 2inch
CCD像素 50W(模擬)/200W(數字)/500W(數字)
溫控規格 制冷方式 液氮/液氦 制冷壓縮機
控制方式 開循環手動/自動冷媒流量控制 閉循環自動控制
控溫范圍 77K~450K/4.2K~450K 4.2K~450K
控溫分辨率 0.001K
溫度穩定性 4.2K ±0.2K 77K ±0.1K
373K ±0.08K 473K ±0.1K
823K ±0.2K(可選) 973K ±1.0K(可選)
常溫到8K冷卻時間 90min 150min
8K到常溫升溫時間 90min 90min
常溫開始的升溫時間 100℃ 150℃ 200℃
30min 50min 80min
加熱電源 LVDC 低壓直流
傳感器 硅二極管
傳感器數量 樣品臺,防輻射屏,探針臂各一個
功率 50W/100W/500W/1000W
點針規格 探針數量 2個/4個/6個
探針調節 真空波紋管外部調節,手動控制
點針精度 10微米/2微米/0.7微米
X-Y-Z行程 25mm-25mm-25mm
漏電精度 10pA/100fA
接口形式 三軸/SMA/K/光纖接口
可選附件 防震桌
多級壓縮制冷機
機械泵/分子泵組/離子泵
射頻部件
Chuck運動裝置
電磁鐵系統/超導磁鐵系統
1Mpa正壓系統升級
超高溫升級選件
超高真空升級選件
客戶特殊定制
應用方向 高低溫真空環境下的芯片測試,材料測試,霍爾測試,電磁輸運特性等
 
特點
可進行真空環境下的高低溫測試(4.2K~450K) 可升級加載磁場
防輻射屏設計,樣品溫度均勻性更好 支持光纖光譜特性測試
兼容高倍率金相顯微鏡,可微調移動 器件的高頻特性(支持高達67GHz頻率)
探針熱沉設計 LD/LED/PD的光強/波長測試
自動流量控制 材料/器件的IV/CV特性測試
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