SC系列探針臺

產品概要

C12高低溫探針臺具有優異的機械系統,結構性能穩定,人體工程學設計,操作便捷,支持多功能升級,功能豐富全面。該產品主要應用于集成電路,LED,LCD,太陽能電池,半導體行業的制造和研究領域。

基本信息

產品型號

C12

工作環境

高低溫環境

電力需求

220VC,50~60Hz

操控方式

手動

產品尺寸

1400mm*920mm*920mm

設備重量

150KG/170KG/250KG

應用方向

高低溫環境下,LD/LED/PD測試,PCB/封裝器件測試,材料/器件的I-V/C-V特性測試、0.2微米以上芯片內部線路/電極/PAD測試、高頻、射頻測試等

規格 SC-6 SC-8 SC-12
外形 860mm*850mm*700mm 880mm*860mm*750mm 1400mm*920mm*920mm
重量 150公斤 約170公斤 約250公斤
電力需求 220VC,50~60Hz
樣品臺 尺寸 6英寸,可360度旋轉 8英寸,可360度旋轉 12英寸,可360度旋轉
行程 X-Y行程6*6英寸 X-Y行程8*8英寸 X-Y行程12英寸*12英寸
移動精度 1um
切換樣品功能 樣品臺快速拉出
樣品固定方式 真空吸附
電學運用 電學獨立懸空,可作為背電極使用
針座平臺 規格 O型平臺,可放置8個針座 O型平臺,可放置10個針座 O型平臺,可放置12個針座
行程&調節方式 平臺可以快速升降,行程 6mm并帶自動鎖定功能;可以上下微調,行程25mm,升降精度1um
溫控特性 溫度范圍 ﹣100~200℃ ﹣80~200℃ ﹣60~200℃
溫控精度 溫度分辨率 : 0.01°C
加熱電源 LVDC 低壓直流
很低控溫速率 ±0.1°C /小時
制冷方式 液氮制冷
光學特性 顯微鏡行程 X-Y軸行程2英寸*2英寸,Z軸:50.8mm
切換鏡頭方式 顯微鏡氣動升降 
放大倍數 16~100X/20~4000X
鏡頭規格 目鏡:10X;物鏡:5X,10X,20X,50X,100X(選配)
CCD像素 50W(模擬)/200W(數字)/500W(數字)
點針規格 X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
機械精度 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米
漏電精度 10pA/100fA(配置屏蔽箱時)
接口形式 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMA/K接口
應用方向 高低溫環境下,LD/LED/PD測試,PCB/封裝器件測試,射頻測試等。
可選附件 探針卡夾具 防震臺 低電流/電容測試
顯微鏡暗場/DIC/Normarski 檢測光強/波長測試接口部件 鍍金卡盤 光纖夾具耦合測試選件
同軸叁軸卡盤 封裝器件夾具
射頻測試附件 光強/光譜/波長測試選件 PCB/封裝夾具測試選件
高壓/大電流測試套裝 有源探頭 特殊定制
屏蔽箱 轉接頭  
特點
非真空環境下的低溫測試,可達-100℃ 大手柄驅動,操作舒適,無回程差設計
兼容高倍率金相顯微鏡,可微調移動 0.2微米以上芯片內部線路/電極/PAD測試
高等院校/研究所/公司實驗室使用 LD/LED/PD的光強/波長測試
支持12英寸以內樣品測試 材料/器件的IV/CV特性測試
同軸絲杠傳動結構,線性移動 器件的高頻特性(支持高至300GHz頻率)
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